低温恒温槽主要作用于对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。对激光装置发热部分的冷却：激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。
低温恒温槽在技术上已经在上具有很高的水准，其中特别是在压缩机的技术上，已经内具有较高水平，低温恒温槽采用的是压缩机制冷机组，有很好的过热保护装置，对于电流过大，系统过热都有着多重的保护，低温恒温槽可以采用多角度多方式的将低温恒温的液体引出保留在第二温度场，可以方便第二现场的使用，低温恒温槽采用的是数字模拟电路设计，智能pid控制器，温度数显一起显示。
1、采用风冷式全封闭压缩机制冷，具有制冷速度快、噪音低等优点。
2、制冷系统具有过热、过电流多重保护装置。
3、温度微机智能控制、操作简单、温度稳定性好、有上下限温度报警、PID自动控制。
4、采用大视窗蓝色背光LCD显示，读数直观，动行状态指示明显。
5、智能微机可修正温度测量值偏差，使数显分辨率达到0.001℃。
6、槽内采用自溢式循环，保证工作槽的温度稳定性和均匀性。
7、特殊用户PID可自调。
8、有内、外循环，外循环时可将槽内恒温液体外引，可建立第二恒温场，还可以作为冷源（热源）把槽内液体外引，可以降低（升高）槽外部实验容器的温度，扩展使用范围。
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